- 水平运动分辨率10nm
- 角度运动分辨率1μrad
- 负载达500g
- 中间位置高度68mm
-
主要参数
| NanoPos | |
| 运动及定位 | |
| 行程Tx,Ty(mm) | ±5 |
| 行程Tz(mm) | ±4 |
| 行程Rx,Ry(deg) | ±7 |
| 行程Rz(deg) | ±10 |
| 分辨率Tx,Ty(nm) | 10 |
| 分辨率Tz(nm) | 10 |
| 分辨率Rx,Ry(μrad) | 1 |
| 分辨率Rz(μrad) | 1 |
| 重复精度Tx,Ty(nm) | ±75 |
| 重复精度Tz(nm) | ±75 |
| 重复精度Rx,Ry(μrad) | ±2 |
| 重复精度Rz(μrad) | ±2 |
| 机械特性 | |
| 负载(kg)(垂直方向/水平方向) | 0.5 |
| 电机类型 | 陶瓷电机 |
| NanoPos | |
| 其它特性 | |
| 工作温度(℃) | +5~+40 |
| 材料 | 铝，铟钢，陶瓷，不锈钢 |
| 运动台面(mm) | Φ70 |
| 中孔(mm) | Φ32 |
| 中间位置高度(mm) | 68 |
| 质量(kg) | 505 |
| 线长(m) | 1.2 |
| 可选项 | 用户可以定制平台面;更大行程；真空兼容；无磁应用；尺寸可扩展 |
| 控制器 | |
| 控制类型 | CAPELLA |
| 接口 | Ethernet，USB，串口（RS-232） |
| 输出功率 | 110-240 VAC/ 50-60Hz |
尺寸图
